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AWG技术阵列波导光栅(AWG)是第.一个将平面波导线路(Planar Lightwave Circuit)技术应用于商品化的元件。其做法为特殊的晶圆上沉积光导膜层,再利用微影制程及反应式离子蚀刻法等微观加工工艺定义出阵列波导及分光元...


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AWG技术

阵列波导光栅(AWG)是第.一个将平面波导线路(Planar Lightwave Circuit)技术应用于商品化的元件。其做法为特殊的晶圆上沉积光导膜层,再利用微影制程及反应式离子蚀刻法等微观加工工艺定义出阵列波导及分光元件等,然后在最上层覆以保护层。其主要结构如下图所示:

图中A、B两个部分为两个星型耦合波导(输入、输出平面波导)通过按照罗兰圆原理构造排列的阵列波导(此处阵列波导同时组成了一组透射光栅)连接在一起,透射光栅在罗兰圆原理(A、B)的作用下,紫外滤光片,产生了如下图所示的分(合)波效应。精.确的波导膜层沉积技术和达到亚微米量级的光刻技术的出现,使得基于这种原理的分(合)波技术可以通过精.准可控的方法达成。并且AWG在晶圆上的实现过程使用与一般半导体类似的制程,在多通道数的制作成本与低通道数相差不多,但更适合量产,而且整合度较高。


所有荧光发射滤镜的主要作用就是阻止激发光的透过。相比较于荧光显微镜而言,紫外滤光片报价,对于共聚焦系统,这种阻塞并不包含很宽的光谱范围。然而,紫外滤光片安装座,由于激光束的高功率输出,需要对激光发射的特定波长专门设计更大的阻塞(或许高于OD 8)。

对共聚焦系统发射滤镜的实际设计还是存在一些争议。由于大多数探测.器采用光电倍增管(PMT),图像一次采集只形成一个像素(图像元素),这些滤镜光件就不需要打磨和抛光。但由于共聚焦成像对分辨率的要求越来越高,就像其他发射滤波片一样经过打磨和抛光并不是在浪费精力。近期一些证据表明,发射滤波片具有较大楔形时(光束变差)可能会造成形态学测量的不准确,这种不准确在长发射光路中可能会更严重。


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