单晶硅太阳能电池转换效率ZUI高，技术也ZUI为成熟。在实验室里ZUI高的转换效率为24.7%，规模生产时的效率为15%（截止2011，太阳能电池，为18%）。在大规应用和工业生产中仍占据主导地位，但由于单晶硅成本价格高，大幅度降低其成本很困难，为了节省硅材料，发展了多晶硅薄膜和非晶硅薄膜作为单晶硅太阳能电池的替代产品。
现有的非晶硅薄膜太阳电池的光致不稳定性是由非晶硅材料的微结构的亚稳态属性所决定的， 因此也是不易完全克服的. 为了提高效率及其稳定性，太阳能电池板， 近年来又出现了微晶硅(μc-Si) 薄膜电池和多晶硅 (poly-Si) 薄膜电池. 实验证明用微晶硅和多晶硅薄膜来替代非晶硅薄膜制作太阳电池的有源层， 在长期强光照射下没有任何衰退现象. 因此发展晶化的硅薄膜太阳电池是实现高稳定、高效率、低成本最有前途的方法. 目前研究的焦点是如何利用低成本工艺技术， 获得大面积优质的晶体硅薄膜， 以及新型薄膜电池结构的优化设计. 制备晶体硅薄膜的技术很多，太阳能电池， 基本可分成两大类， 一类是高温技术， 温度高于600℃， 另一类是低温晶化技术， 温度低于600℃ .
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