分子泵,伯东,检漏仪

上海伯东Pfeiffer 质谱分析仪 HiCube RGA

Pfeiffer HiCube RGA 质谱分析仪--残余气体分析的一体化解决方案

一体化：伯东公司代理的德国进口普发新款

Pfeiffer HiCube RGA 真空泵组质谱仪根据客户的气体分析需求，提供一个简单，直接的解决方案。HiCube

RGA 质谱仪(残余气体分析仪)适用于移动应用，并且提供高解析度和灵敏度。结合了

PrismaPlus 四级质谱仪和

Hicube 分子泵组的

HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)为广泛的应用提供了可测量和分析的单元。高科技元件内部协调最jia。

集成安全：节流阀允许客户变更进气压力从而调节进样压力（范围：从大气压力到高真空均可）。一个额外工作的全量程真空计通过压力监测保护质谱仪。当压力超过时，这种压力自动监控功能确保灯丝总是被提前充分切断。这使我们的一体化系统不易误操作造成损坏，久而久之节省金钱。

多种连接选择： HiCube

RGA 质谱仪(残余气体分析仪)通用型设计。由于它的数位和类比输入输出系统以及单元自带的quadera?软体，分子泵，它可以整合外部信号。同时提供了系统控制和过程监测。软体操作介面友好，检漏仪，介面同时提供测量值以及外部元件信号的整体显示。

优点：

?从大气压力到高真空均可使用

?通过压力监测保护灯丝

?进气系统节流阀

?高解析度和灵敏度

?残余气体分析和氦检漏功能

广泛应用：新款 HiCube

RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供卓越的多功能性。不论是残余气体的分析，过程监测，氦气检漏或真空工艺连接上的品质控制。客户从

HiCube RGA 得到的是一个完整的准备就绪的研究和发展真空的解决方案，不论是半导体和镀膜工业还是更多更深层的工业应用。

典型应用：

?残余气体分析

在一个容器内分析残余气体，Pfeiffer涡轮分子泵，当达到所需的极限压力或条件要求时，HiPace Plus 分子泵，HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供深入了解剩余物质的组成成分。这可以得出关于物质表面属性，解析行为，纯度和容器的密封性，以及工艺气体组成的结论。它提供给客户关于真空室或真空元件状态的重要资讯。

?泄漏检测

HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)的特点是氦气检漏模式可在软体控制下启动，此功能使得客户在真空系统中更方便找到泄露点。